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喜報！雷子科技通過“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定！
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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
半導(dǎo)體精密運(yùn)動平臺XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動，滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測。底軸寬度約是上軸長度的2/3，可防止重心不穩(wěn)定。配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，具有精度高、剛性好等特點。
重復(fù)定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負(fù)載：10kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
半導(dǎo)體精密運(yùn)動平臺XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動，滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測。
高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu)；
中型寬度，高剛度設(shè)計；
光柵尺閉環(huán)反饋；
R軸角度定位；
定制高加速度；
可選配防塵罩裝置。
| 規(guī)格 軸向 | X軸 | Y軸 | R軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±1μm | ±1μm | ±5 arc sec |
| 定位精度 | 3μm | 3μm | 30 arc sec |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm | - |
| 最高速度 | 300mm/s | - | |
| 直線度 | 6μm / 500mm | - | |
| 行走平面度 | 000級 | - | |
| 加速度 | 0.5G | - | |
| 最大負(fù)載 | 10kg | - | |
| 光柵尺分辨率 | 0.1μm | - | |
注意：以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用，最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實驗環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測得。
本文關(guān)鍵詞： 精密運(yùn)動平臺
