公告：
喜報(bào)！雷子科技通過(guò)“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定！
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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺(tái))
一款高精密XY位移平臺(tái)，高運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性。非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置，可選中空設(shè)計(jì)。采用UP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌，具有高負(fù)載能力、長(zhǎng)使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導(dǎo)向精度等多種特點(diǎn)。可配R軸旋轉(zhuǎn)軸，多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光熔覆加工等。
單向重復(fù)定位精度：0.4μm
雙向重復(fù)定位精度：±2μm
有效行程：102mm × 102mm
直線度 / 平面度：±2μm
最小位移：0.4μm
Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
單向重復(fù)精度高，運(yùn)動(dòng)速度快；
增量線性編碼器分辨率可達(dá)1納米；
兩相步進(jìn)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)矩和高分辨率；
直流電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動(dòng)和高速；
循環(huán)滾珠軸承負(fù)載能力高、使用壽命長(zhǎng)。
| 規(guī)格 型號(hào) | LEIZ-XY-102 |
| 單向重復(fù)定位精度 | 0.4μm |
| 雙向重復(fù)定位精度 | ±2μm |
| 有效行程 | 102mm × 102mm |
| 直線度 / 平面度 | ±2μm |
| 最小位移 | 0.4μm |
| 角度誤差xry | ±40μrad |
| 角度誤差xrz | ±20μrad |
| 角度誤差yrx | ±40μrad |
| 角度誤差yrz | ±20μrad |
注意：以上測(cè)試數(shù)據(jù)均在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，僅做為選型參數(shù)使用，最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。
本文關(guān)鍵詞： xy軸對(duì)位平臺(tái) xy軸精密平臺(tái)
